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SMART FACTORY
스마트 팩토리
- 반도체 물류장비 검사 장비
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반도체 물류장비 검사장비
반도체 제조 공정의 핵심 물류 이송 장비인 OHT(Overhead Hoist Transport)의 검사장비를 개발하여
국내 반도체 라인에 대량 구축하였고, 미국, 중국등 해외 반도체 제조라인에 활발하게 확대 구축을 진행하고 있습니다.
Overhead Hoist Transport Wheel Measurement System
OHT 휠 측정시스템 (OHT-WMS)
반도체 FAB내 핵심 물류 이송장비인 OHT 주행 Wheel 마모도를
실시간으로 측정하고 데이터를 FAB 시스템에 전송하여
OHT 휠의 안정적인 운영과 유지보수를 기능을 담당
- 레이저 변위센서를 이용한 휠의 변위 측정
- 레이저 변위센서가 설치된 위치를 OHT가 통과할때 자동으로 측정
- 카메라 기반 OHT ID 인식기능, 포토센서 기반 OHT 정지 등의 이슈감지 기능 포함
- Raw Data 보관 및 OHT ID별 휠 상태 데이터를 서버로 전송
- Rail에 장착하는 방식으로 Rail의 처짐, 이상진동 감지 기능 확장 가능
- CE, UL, ISO 9001, 14001, 45001 획득
- 고유 기술 특허 보유
- 반도체 라인 표준화 및 독점 공급 중
Reference
- 국내 반도체 라인 40개소 이상, 미국, 중국 반도체 라인 추가 설치 진행 중
- 반도체, 디스플레이, 2차전지, 자동차 OHT 물류이송장비 적용 가능
